元量測儀可定義為一種具有可作三個(gè)方向移動(dòng)的探測器，可在三個(gè)相互垂直的導(dǎo)軌上移動(dòng)，此探測器以接觸或非接觸等方式傳送訊號(hào)，三個(gè)軸之位移量測系統(tǒng)（如光學(xué)尺）經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計(jì)算機(jī)等計(jì)算出工件的各點(diǎn)坐標(biāo)（x,y,z）及各項(xiàng)功能量測的儀器，三坐標(biāo)測量儀是坐標(biāo)測量儀中的一種。

       氣動(dòng)量儀這種測量方式是利用光柵繞射所制成的量測系統(tǒng)俗稱光學(xué)尺，其光源經(jīng)過瞄準(zhǔn)透鏡而投射到游動(dòng)刻度尺和主刻度尺，藉其光波產(chǎn)生Moire條紋明暗訊號(hào)之原理，由光電管接收其信號(hào)，經(jīng)放大及修正后即可顯示出來，其系統(tǒng)及輸出信號(hào)情形。

       操作量測前準(zhǔn)備應(yīng)檢查空氣軸承壓力是否足夠，安裝工件測頭選擇及安裝，將適當(dāng)之測頭裝于Z軸承接器，檢視Z軸是否會(huì)自動(dòng)滑落（否則應(yīng)調(diào)整紅色壓力平衡調(diào)整閥）。鎖定各軸之適當(dāng)位置，量測操作應(yīng)開啟處理機(jī)電源，啟開打印機(jī)開關(guān)，參考操作手冊(cè)，選擇所需功能之指令進(jìn)行量測，并讀出量測值。完成后注意事項(xiàng)有Z軸移至原來位置后鎖定，X,Y軸各移至中央鎖定，關(guān)電源及壓力閥，取下測頭并作適當(dāng)?shù)谋ｐB(yǎng)。